当功率密度高于1500kJ/mol时，封闭漆后 增加涂层附着力体系中电子的平均能量增加，大部分电子的能量逐渐接近co2C-O键的裂解能，CO2转化率迅速增加。同时甲烷转化率随功率密度的增加呈对数增加，CO2转化率随功率密度的增加呈线性增加。这可能与甲烷和co2在等离子体处理机中的裂解特性有关。甲烷是逐次裂解，即转化一个甲烷分子往往会消耗很多高能电子，而co2主要是一次裂解，转化一个co2分子消耗的高能电子数低于甲烷。
在集成电路制造中，增加涂层附着力仍有超过 50% 的材料因晶圆表面污染而损失。在半导体制造过程中，几乎每道工序都需要清洗，晶圆清洗的质量对器件的性能有着严重的影响。晶圆清洗是半导体制造过程中非常重要且频繁的步骤，其工艺质量直接影响器件的良率、性能和可靠性，因此国内外各大公司和研究机构的研究正在增加。进行中。等离子清洗作为一种先进的干洗技术，具有绿色环保的特点。
在等离子体清洗工艺当中，封闭漆后 增加涂层附着力影响清洗效率的参数主要有以下几个方面：（1）放电气压：对于低压等离子体，放电气压增加，等离子体密度越高，电子温度随之降低。而等离子体的清洗效果取决于其密度和电子温度两个方面，如密度越高清洗速率越快、电子温度越高清洗效果越好。因此，放电气压的选择对低压等离子体清洗工艺至关重要。
处理均匀性好；2、工作时间段，封闭漆后 增加涂层附着力温度低，效率高；3、对处理过的材质没有严格要求，具有普遍适应性；4、无污染，无需废液和废气处理，节约能源，降低成本；5、工艺简单，操作方便。。今天，一起来讲讲不同的等离子处理机的等离子技术：1、真空等离子处理机技术：这类等离子体是在封闭真空中产生的(10-3到10-9bar)。相对于常压情况，单位体积内的粒子数更少，从而增加了粒子自由程长度，相对减少了碰撞过程。
